电子信息工程学院硕士学位论文线上视频答辩公告

学科专业：集成电路工程

论文题目：GLSI多层铜互连阻挡层低粗糙度的研究

指导教师：刘玉岭

答 辩 人：王聪

学科专业：电子科学与技术

论文题目：GLSI多层铜布线中碟形坑和蚀坑的控制研究

指导教师：刘玉岭

答 辩 人：张辉辉

学科专业：电子科学与技术 

论文题目：抑制剂在铜表面的解吸机理及CMP后清洗的研究

指导教师：檀柏梅

答 辩 人：王淇

学科专业：电子科学与技术

论文题目：铜 CMP 后清洗表面吸附与电化学腐蚀的研究

指导教师：檀柏梅

答 辩 人：田思雨